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RS-1230光阻抑制剂
发布时间:2021-07-28
光阻抑制剂主要是针对光阻剂中光启始剂进行预饱和,致使光启始剂与单体即使在后续流程中遇酸、光、热提供给予能量亦无法完铰链反应,无法聚合,从而减少显影时产生Sludge与Scum。
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